[00301835]单壁碳纳米管薄膜
技术详细介绍
单壁碳纳米管薄膜，可用于柔性太阳能电池的透明导电电极、脑机结构电极和极紫外光刻掩模板防护膜等。厚度仅为20-50 nm厚，极紫外光透过率大于90%。可用于极紫外光刻机中掩模板防护膜的制造，阻止腔体中的颗粒落向掩模板造成光刻缺陷，推动高功率极紫外光刻机的制造。
【是否有意愿在安徽落地转化】：是
【期望参展板块】：专题互动展区/中国科学院
【技术水平】：国际领先
【展示方式】：实物
【成果编码】：2026D3683
【单位性质】：科研院所
【统一社会信用代码】：121000004630037851
【意愿落地城市】：合肥市
【成果领域】：前沿材料
【是否有自主知识产权】：是
【项目阶段】：原理样机/样品
【展品联系人】：马俊飞
【展品长度】：1
【展品宽度】：1
【展品高度】：1
【展品重量】：1
【实物确认】：是
【是否有意愿在安徽落地转化】：是
【期望参展板块】：专题互动展区/中国科学院
【技术水平】：国际领先
【展示方式】：实物
【成果编码】：2026D3683
【单位性质】：科研院所
【统一社会信用代码】：121000004630037851
【意愿落地城市】：合肥市
【成果领域】：前沿材料
【是否有自主知识产权】：是
【项目阶段】：原理样机/样品
【展品联系人】：马俊飞
【展品长度】：1
【展品宽度】：1
【展品高度】：1
【展品重量】：1
【实物确认】：是
