[00301880]Ti Target
交易价格:
面议
所属行业:
检测仪器
类型:
发明专利
技术成熟度:
通过小试
专利所属地:中国
专利号:
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
黄远东
进入空间
所在地:
安徽省合肥市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
12寸高纯钛靶材,采用真空电子束熔炼、热塑性变形、精密机加、焊接技术等先进工艺制备,靶材纯度99.999%及以上,晶粒<20um,晶粒细小且均匀,微观组织均匀,无裂纹、气孔等缺陷,有效降低溅射过程中的颗粒污染风险。在半导体领域用于制备集成电路(IC)、晶圆制造中的金属布线与阻挡层薄膜。
【成果编码】20261028
【单位性质】企业
【企业类别】专精特新中小企业,高新技术企业,创新型中小企业
【统一社会信用代码】91340100MA8PW0NC3Q
【是否有意愿在安徽落地转化】是
【意愿落地城市】合肥市
【期望参展板块】新兴产业壮大展区/新一代信息技术(含集成电路)
【技术水平】国际先进
【是否有自主知识产权】是
【项目阶段】中试
【已应用场景】在半导体领域用于制备集成电路(IC)、晶圆制造中的金属布线与阻挡层薄膜。
【对接倾向】企业
【展品联系人】黄远东
【展品联系人手机号】18949832566
【展示方式】实物
【展品长度】30
【展品宽度】30
【展品高度】5
【展品重量】30
【实物确认】是
【状态】已审核,待遴选
【参展状态】线下+线上参展
【用户回复】是