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[00301880]Ti Target

交易价格: 面议

所属行业: 检测仪器

类型: 发明专利

技术成熟度: 通过小试

专利所属地:中国

专利号:

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 黄远东

进入空间

所在地: 安徽省合肥市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述

技术详细介绍

12寸高纯钛靶材,采用真空电子束熔炼、热塑性变形、精密机加、焊接技术等先进工艺制备,靶材纯度99.999%及以上,晶粒<20um,晶粒细小且均匀,微观组织均匀,无裂纹、气孔等缺陷,有效降低溅射过程中的颗粒污染风险。在半导体领域用于制备集成电路(IC)、晶圆制造中的金属布线与阻挡层薄膜。

【成果编码】20261028

【单位性质】企业

【企业类别】专精特新中小企业,高新技术企业,创新型中小企业

【统一社会信用代码】91340100MA8PW0NC3Q

【是否有意愿在安徽落地转化】是

【意愿落地城市】合肥市

【期望参展板块】新兴产业壮大展区/新一代信息技术(含集成电路)

【技术水平】国际先进

【是否有自主知识产权】是

【项目阶段】中试

【已应用场景】在半导体领域用于制备集成电路(IC)、晶圆制造中的金属布线与阻挡层薄膜。

【对接倾向】企业

【展品联系人】黄远东

【展品联系人手机号】18949832566

【展示方式】实物

【展品长度】30

【展品宽度】30

【展品高度】5

【展品重量】30

【实物确认】是

【状态】已审核,待遴选

【参展状态】线下+线上参展

【用户回复】是

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