[00302057]超声悬浮传输平台
技术详细介绍
驻波式超声悬浮传输平台主要包括悬浮装置和传输装置。悬浮装置利用近场超声悬浮技术实现精密部件的非接触定位。整个悬浮装置安装在步进电机驱动的传输平台实现部件的空间传输。该平台完全无机械接触，零磨损、无尘洁净，结构紧凑且控制精准。其传输平稳安静，可实现10cm/s的可靠速度，广泛应用于半导体晶圆、微型元件及精密玻璃基板等对洁净度要求极高的现代化制造与检测场景。
【成果编码】20260789
【单位性质】高校
【统一社会信用代码】12340000485002265R
【是否是首展首发】国内首发
【是否有意愿在安徽落地转化】是
【意愿落地城市】合肥市
【期望参展板块】新兴产业壮大展区/高端装备制造
【技术水平】国际领先
【是否有自主知识产权】是
【项目阶段】原理样机/样品
【潜在应用场景】半导体晶圆、微型元件及精密玻璃基板等对洁净度要求极高的现代化制造与检测场景。
【合作诉求】合作开发
【展品联系人】刘远远
【展品联系人手机号】17605682660
【展示方式】模型
【展品长度】50
【展品宽度】50
【展品高度】40
【展品重量】10
【实物确认】是
【状态】已审核，待遴选
【参展状态】线下+线上参展
【用户回复】是
【成果编码】20260789
【单位性质】高校
【统一社会信用代码】12340000485002265R
【是否是首展首发】国内首发
【是否有意愿在安徽落地转化】是
【意愿落地城市】合肥市
【期望参展板块】新兴产业壮大展区/高端装备制造
【技术水平】国际领先
【是否有自主知识产权】是
【项目阶段】原理样机/样品
【潜在应用场景】半导体晶圆、微型元件及精密玻璃基板等对洁净度要求极高的现代化制造与检测场景。
【合作诉求】合作开发
【展品联系人】刘远远
【展品联系人手机号】17605682660
【展示方式】模型
【展品长度】50
【展品宽度】50
【展品高度】40
【展品重量】10
【实物确认】是
【状态】已审核，待遴选
【参展状态】线下+线上参展
【用户回复】是
