[00302349]碳化硅晶圆表面缺陷检测仪
技术详细介绍
企业专注于从事化合物半导体晶圆表面缺陷检测设备的研发。主要产品包括碳化硅宏观缺陷检测设备MSP系列以及碳化硅表面缺陷终检设备MI系列。 MSP系列产品首次实现了介观显微技术在工业检测领域的应用，解决了当前过程检测领域光学分辨率和检测速率不可兼得的矛盾，实现了致命缺陷碳硅面分布的高准确度判别，为碳化硅企业良率及生产效率提升做出了贡献。 MI系列产品实现了相应工艺环节进口设备的国产替代，同时实现了明场、暗场、微分干涉、光致发光等多模态的高效集成，解决了当前衬底、外延场景检测设备无法兼容的业界痛点，为行业实现缺陷演变过程的全工艺流程可追溯奠定了基础。
【是否是首展首发】：国内首展
【是否有意愿在安徽落地转化】：是
【期望参展板块】：专题互动展区/长三角国家技术创新中心
【技术水平】：国际先进
【展示方式】：模型
【成果编码】：2026D0279
【单位性质】：科研院所
【统一社会信用代码】：12320000466016952M
【意愿落地城市】：合肥市
【成果领域】：新能源及绿色低碳
【是否有自主知识产权】：是
【项目阶段】：量产推广
【合作诉求】：合作开发
【展品联系人】：许川
【展品长度】：1
【展品宽度】：6
【展品高度】：6
【展品重量】：6
【实物确认】：是
【是否是首展首发】：国内首展
【是否有意愿在安徽落地转化】：是
【期望参展板块】：专题互动展区/长三角国家技术创新中心
【技术水平】：国际先进
【展示方式】：模型
【成果编码】：2026D0279
【单位性质】：科研院所
【统一社会信用代码】：12320000466016952M
【意愿落地城市】：合肥市
【成果领域】：新能源及绿色低碳
【是否有自主知识产权】：是
【项目阶段】：量产推广
【合作诉求】：合作开发
【展品联系人】：许川
【展品长度】：1
【展品宽度】：6
【展品高度】：6
【展品重量】：6
【实物确认】：是
