[00302355]纳米级高精度气浮运动平台
技术详细介绍
纳米级高精度气浮运动平台采用苏科思自主知识产权的控制软件开发平台及控制板卡，集成了主动减震及主动内部驱动力消除模块，及自动调平功能。依靠自研的高刚性的空气轴承以及精确的运动控制算法，能够实现30nm的定位精度，以及运动过程中10nm的位置稳定性，系统性模块化设计思维，实现了高精度，高速，多自由度运动稳定性。技术水平达到国际先进，部分指标超过美国Aerotech等国际垄断产品，目前可以支持到28nm制程的缺陷检测能力。
【是否有意愿在安徽落地转化】：是
【期望参展板块】：专题互动展区/长三角国家技术创新中心
【技术水平】：国际先进
【展示方式】：模型
【成果编码】：2026D0282
【单位性质】：科研院所
【统一社会信用代码】：12320000466016952M
【意愿落地城市】：合肥市
【成果领域】：高端装备制造
【是否有自主知识产权】：是
【项目阶段】：量产推广
【服务诉求】：应用场景对接
【对接倾向】：企业
【展品联系人】：许川
【展品长度】：1
【展品宽度】：73
【展品高度】：83
【展品重量】：25
【实物确认】：是
【是否有意愿在安徽落地转化】：是
【期望参展板块】：专题互动展区/长三角国家技术创新中心
【技术水平】：国际先进
【展示方式】：模型
【成果编码】：2026D0282
【单位性质】：科研院所
【统一社会信用代码】：12320000466016952M
【意愿落地城市】：合肥市
【成果领域】：高端装备制造
【是否有自主知识产权】：是
【项目阶段】：量产推广
【服务诉求】：应用场景对接
【对接倾向】：企业
【展品联系人】：许川
【展品长度】：1
【展品宽度】：73
【展品高度】：83
【展品重量】：25
【实物确认】：是
