[00302387]微型化低功耗晶圆级封装MEMS电场传感器
技术详细介绍
本项目由北京中科飞龙传感技术有限责任公司、中国科学院空天信息创新研究院等研发。 新型电力系统需要对全域电场/电压状态实时监测。当前使用的场磨式电场传感器、电压互感器等存在体积大、功耗高、成本高等问题。本项目提出具有场增强效应的电场敏感单元及封装结构一体化设计方法与晶圆级高效制备技术，研制出晶圆级封装MEMS电场传感器，较现有传感器体积、功耗、成本有数量级缩减。推动电学量检测技术进步及产业变革，占领电力系统电场/电压测量技术制高点。
【是否有意愿在安徽落地转化】：否
【期望参展板块】：专题互动展区/京津冀国家技术创新中心
【技术水平】：国际先进
【展示方式】：模型
【成果编码】：2026D0654
【单位性质】：其他
【企业类别】：科技领军企业
【统一社会信用代码】：52110000MMJ015149XD
【成果领域】：新一代信息技术(含集成电路)
【是否有自主知识产权】：是
【项目阶段】：小批生产
【展品联系人】：潘玉
【展品长度】：1
【展品宽度】：1
【展品高度】：2
【展品重量】：1
【实物确认】：是
【是否有意愿在安徽落地转化】：否
【期望参展板块】：专题互动展区/京津冀国家技术创新中心
【技术水平】：国际先进
【展示方式】：模型
【成果编码】：2026D0654
【单位性质】：其他
【企业类别】：科技领军企业
【统一社会信用代码】：52110000MMJ015149XD
【成果领域】：新一代信息技术(含集成电路)
【是否有自主知识产权】：是
【项目阶段】：小批生产
【展品联系人】：潘玉
【展品长度】：1
【展品宽度】：1
【展品高度】：2
【展品重量】：1
【实物确认】：是
