[00302395]下一代集成电路二维材料大尺寸生长装备
技术详细介绍
本项目由嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心研发。 二维材料为下一代集成电路发展提供了机遇。现有二维材料生长设备由于受形核生长原理的限制，在大尺寸制备中无法实现精准层数控制。本项目提出吸附反应外延原理和设备，创造性采用材料生长过程的时序控制和温度分级控制，可生产高质量、高稳定性和高可靠性的二维材料，将二维材料可制备尺寸由2英寸提升至8英寸，服务下一代集成电路二维材料研究和规模制备，助力我国在芯片制造领域摆脱技术封锁。
【是否有意愿在安徽落地转化】：否
【期望参展板块】：专题互动展区/京津冀国家技术创新中心
【技术水平】：国际先进
【展示方式】：模型
【成果编码】：2026D0652
【单位性质】：其他
【企业类别】：科技领军企业
【统一社会信用代码】：52110000MMJ015149XD
【成果领域】：新一代信息技术(含集成电路)
【是否有自主知识产权】：是
【项目阶段】：量产推广
【已应用场景】：下一代集成电路
【展品联系人】：潘玉
【展品长度】：4
【展品宽度】：2
【展品高度】：2
【展品重量】：5
【实物确认】：是
【是否有意愿在安徽落地转化】：否
【期望参展板块】：专题互动展区/京津冀国家技术创新中心
【技术水平】：国际先进
【展示方式】：模型
【成果编码】：2026D0652
【单位性质】：其他
【企业类别】：科技领军企业
【统一社会信用代码】：52110000MMJ015149XD
【成果领域】：新一代信息技术(含集成电路)
【是否有自主知识产权】：是
【项目阶段】：量产推广
【已应用场景】：下一代集成电路
【展品联系人】：潘玉
【展品长度】：4
【展品宽度】：2
【展品高度】：2
【展品重量】：5
【实物确认】：是
