[00303746]电子束曝光机
技术详细介绍
本项目由北京大学、北京金竟科技有限责任公司研发。 电子束曝光机是高精密微纳加工与芯片制造的核心装备，广泛应用于半导体、微电子器件、微纳光学、微机电系统、量子器件和芯片等领域，是我国“卡脖子”难题之一。本项目突破了电子光学系统、电子束矢量扫描发生器、大尺寸样品台等系列关键技术，在国内率先研发出30kV电子束曝光机商业级系统，技术水平位居世界前三，为我国前沿科学探索以及尖端制造提供了重要支撑。 已服务于北京大学、北京航空航天大学、天津大学、华南理工大学等单位。
【成果编码】20260656
【单位性质】其他
【企业类别】科技领军企业
【统一社会信用代码】52110000MMJ015149XD
【是否有意愿在安徽落地转化】是
【意愿落地城市】合肥市
【期望参展板块】专题互动展区/京津冀国家技术创新中心
【技术水平】国际先进
【是否有自主知识产权】是
【项目阶段】中试
【展品联系人】潘玉
【展品联系人手机号】15655245693
【展示方式】模型
【展品长度】10
【展品宽度】10
【展品高度】5
【展品重量】2
【实物确认】是
【状态】已审核，待遴选
【参展状态】线下+线上参展
【用户回复】是
【成果编码】20260656
【单位性质】其他
【企业类别】科技领军企业
【统一社会信用代码】52110000MMJ015149XD
【是否有意愿在安徽落地转化】是
【意愿落地城市】合肥市
【期望参展板块】专题互动展区/京津冀国家技术创新中心
【技术水平】国际先进
【是否有自主知识产权】是
【项目阶段】中试
【展品联系人】潘玉
【展品联系人手机号】15655245693
【展示方式】模型
【展品长度】10
【展品宽度】10
【展品高度】5
【展品重量】2
【实物确认】是
【状态】已审核，待遴选
【参展状态】线下+线上参展
【用户回复】是
