[00303867]NCG量测模块
交易价格:
面议
所属行业:
检测仪器
类型:
发明专利
技术成熟度:
通过小试
专利所属地:中国
专利号:
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
王超群
进入空间
所在地:
上海市上海市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
半导体制造中,研磨/抛光/减薄是实现晶圆超精密表面平坦度的关键。 NCG量测模块通过实时高精度厚度检测技术,基于光谱共焦/ 红外干涉的非接触式高精度量测核心模块,主打纳米级精度、非接触、高速,贯穿晶圆制造、先进封装等关键制程实现更精准工艺控制,减少过抛或欠抛,保障良率与工艺稳定。
【成果编码】20263559
【单位性质】企业
【企业类别】科技型中小企业
【统一社会信用代码】9131011568103220XE
【是否是首展首发】国内首展
【是否有意愿在安徽落地转化】是
【意愿落地城市】合肥市
【期望参展板块】未来产业培育展区/新一代半导体
【技术水平】国内先进
【是否有自主知识产权】是
【项目阶段】中试
【已应用场景】晶圆研磨、抛光、减薄过程监控 在半导体的制造中,需要通过双面研磨、单面研磨、抛光等方法使晶圆的厚度变薄,或抛光以使表面成为镜面。
【潜在应用场景】半导体加工流程中,研磨与抛光是比不可少的工艺流程,过程监控中的实时厚度监控、材料处理期间的TTV测量对于调节加工工艺,提高减薄 与研磨效率,提高产能和产品质量。
【合作诉求】合作开发
【服务诉求】落地产业化
【对接倾向】企业
【金融诉求】其他产业投资
【展品联系人】王超群
【展品联系人手机号】18873176181
【展示方式】实物
【展品长度】80
【展品宽度】60
【展品高度】78
【展品重量】10
【参展要求】需要接电,220V电源
【实物确认】是
【状态】已审核,待遴选
【参展状态】线下+线上参展
【用户回复】是