[00304031]下一代集成电路二维材料大尺寸生长装备
技术详细介绍
本项目由嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心研发。 二维材料为下一代集成电路发展提供了机遇。现有二维材料生长设备由于受形核生长原理的限制，在大尺寸制备中无法实现精准层数控制。本项目提出吸附反应外延原理和设备，创造性采用材料生长过程的时序控制和温度分级控制，可生产高质量、高稳定性和高可靠性的二维材料，将二维材料可制备尺寸由2英寸提升至8英寸，服务下一代集成电路二维材料研究和规模制备，助力我国在芯片制造领域摆脱技术封锁。
【成果编码】20260652
【单位性质】其他
【企业类别】科技领军企业
【统一社会信用代码】52110000MMJ015149XD
【是否有意愿在安徽落地转化】否
【期望参展板块】专题互动展区/京津冀国家技术创新中心
【技术水平】国际先进
【是否有自主知识产权】是
【项目阶段】量产推广
【已应用场景】下一代集成电路
【展品联系人】潘玉
【展品联系人手机号】15655245693
【展示方式】模型
【展品长度】40
【展品宽度】20
【展品高度】20
【展品重量】5
【实物确认】是
【状态】已审核，待遴选
【参展状态】线下+线上参展
【用户回复】是
【成果编码】20260652
【单位性质】其他
【企业类别】科技领军企业
【统一社会信用代码】52110000MMJ015149XD
【是否有意愿在安徽落地转化】否
【期望参展板块】专题互动展区/京津冀国家技术创新中心
【技术水平】国际先进
【是否有自主知识产权】是
【项目阶段】量产推广
【已应用场景】下一代集成电路
【展品联系人】潘玉
【展品联系人手机号】15655245693
【展示方式】模型
【展品长度】40
【展品宽度】20
【展品高度】20
【展品重量】5
【实物确认】是
【状态】已审核，待遴选
【参展状态】线下+线上参展
【用户回复】是
