[00031825]蓝宝石LED衬底表面缺陷检测和综合评定方法研究

交易价格： 面议

所属行业： 其他电子信息

类型： 非专利

技术成熟度： 正在研发

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：林老师

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所在地：福建厦门市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

基于散射共焦显微测量的衬底表面缺陷检测方法：利用光散射法对整个衬底表面2D 测量范围快速扫描，实现宏观信息的获取，再根据缺陷特征的定位，利用共焦层析扫描显微特性获取缺陷个体局部微观3D信息。衬底表面缺陷综合评定方法：重点展开对划痕、裂纹、气泡、坑点、崩角等缺陷的特征分类；基于缺陷特征定量表征，获得表面缺陷的损伤分布规律以及缺陷个体的个性化参数评价。

[00031825]蓝宝石LED衬底表面缺陷检测和综合评定方法研究

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