[00031965]大尺寸多频段应用BiLuIG单晶薄膜材料
技术详细介绍
本项目共包括8项授权专利，另有20余项专利正处于公开阶段。
项目主要创新点为：（1）提出了一种Bi+Lu共掺杂新配方，实现了在传统GGG衬底上外延出具有大法拉第效应的BiLuIG石榴石单晶薄膜材料。（2）提出了"缓冲法"技术，克服了无铅液相外延工艺中熔体粘度偏高，薄膜均匀性差的难题，成功制备出3英寸的高质量单晶BiLuIG薄膜材料，厚度可达20微米以上，其法拉第效应是含铅工艺制备材料的10倍。
项目总体达到国际先进水平，其中在Bi+Lu共掺杂材料设计和无铅液相外延技术方面达到国际领先水平
