[00033870]一种三段式螺杆转子及其双螺杆真空泵
技术详细介绍
本发明公开了一种三段式螺杆转子及其双螺杆真空泵，属于干式双
螺杆真空泵领域；包括吸气段、压缩段和排气段，吸气段和排气段都为
等螺距且等截面型线，吸气段的螺距大于排气段的螺距，但吸气段的齿
顶面宽度小于排气段的齿顶面宽度；压缩段为变螺距且变截面型线；吸
气段与压缩段之间、压缩段与排气段之间的齿面和螺旋线光滑过渡；具
有内容积比大、密封性好、结构紧凑、轴向尺寸短和加工难度低的优
点，提高了双螺杆真空泵的极限真空度和抽速，可以广泛应用于半导体
、化工、电子、核能、食品、医药等领域。
