[00034846]一种石墨烯片上可调电感及其制造方法
技术详细介绍
本发明公开了一种石墨烯片上可调电感及其制造方法，包括石墨烯线圈层、绝缘介质层、电极控制层、以及衬底，石墨烯线圈层为片上电感的主体部分，设于衬底上方；绝缘介质层覆盖在石墨烯线圈层上；电极控制层位于绝缘介质层上并处于石墨烯线圈正上方；通过电极控制层在石墨烯线圈上施加可变栅压，石墨烯线圈层的电感值随之发生改变；首先在催化膜上生长出层状石墨烯；然后将层状石墨烯转移至衬底上；将石墨烯膜图形化成石墨烯电感线圈；在石墨烯电感线圈上淀积一层的绝缘介质层；在绝缘介质层上沉积一层导电膜；将绝缘介质层上的导电膜刻蚀成与石墨烯电感线圈尺寸一致的线圈结构， 本发明电感值连续可调，其可调范围大、电调速度快，工作稳定性好。
