[00036816]一种基于SOI材料的交叉波导及其制备方法
联系人： 7856772
所在地： 广西壮族自治区南宁市
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技术详细介绍
本发明揭示了一种基于SOI材料的交叉波导，其由输入/输出区，过渡区，以及交叉区组成；输入/输出区为缝隙直波导，该缝隙直波导由两条硅直波导，以及垂直缝隙组成，其中，两条硅直波导均为条形波导，垂直缝隙内填充二氧化硅；过渡区为缝隙弯曲波导，该缝隙弯曲波导由两条硅弯曲波导，以及垂直缝隙组成，其中，两条硅弯曲波导均为条形波导，垂直缝隙内填充高折射率二氧化硅；交叉区为一条直波导，该直波导由一条高折射率二氧化硅波导，以及二氧化硅组成。同时，本发明还揭示了一种基于SOI材料的交叉波导的制备方法。本发明的交叉波导交叉损耗与串扰小，工作带宽大，制备工艺的容差大，适于低成本、高集成度、大规模制造。
