[00036817]十字缝隙波导的交叉波导结构及其制备方法
联系人： 7856772
所在地： 广西壮族自治区南宁市
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技术详细介绍
本发明揭示了一种十字缝隙交叉波导结构,该十字缝隙交叉波导结构包括输入/输出区、过渡区与交叉区输入/输出区用于信号的输入与输出，由普通的十字缝隙直波导构成；过渡区用于连接正交的直波导，由十字缝隙弯曲波导构成，十字缝隙弯曲波导的垂直缝隙内填充了高折射率二氧化硅；交叉区用于实现两条十字缝隙交叉波导结构的交叉，其由两条平行的高折射率二氧化硅波导构成。该交叉波导结构交叉损耗与串扰小，并且采用的是宽度渐变的高折射率二氧化硅波导结构，不涉及谐振结构，工作带宽大、制备工艺的容差也大。
