[00037747]一种可连续大面积均匀化学气相沉积的喷头系
联系人： 李义灵
所在地： 福建漳州市
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技术详细介绍
本发明包括输送管路、固定面板，固定面板上部有一次反应气体混合腔体、循环水冷却系统，固定面板下部有二次反应气体混合腔体、喷管，二次反应气体混合腔体的底部开有单缝隙喷嘴，原料气体经由输送管路进入一次反应气体混合腔体，再进入喷管中，然后从喷管的喷气口喷出后进入二次反应气体混合腔体，最后由单缝隙喷嘴喷出。此系统可以降低沉积温度，使大面积沉积时薄膜的均匀性容易控制，以保证连续大规模生产的正常进行。
