[00037805]增强有机金属化学气相沉积薄膜的装置及其沉积方法
联系人： 许恩平
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技术详细介绍
增强有机金属化学气相沉积薄膜的装置，由磁控管微波发生源、波导管、磁场产生部件、耦合窗、共振腔、沉膜室、样品台、样品台加热部件、样品台偏压部件、真空装置、配气装置、工作气体给气管、反应气体给气管和目视窗共同连接构成，磁场产生部件可沿轴向滑动，其磁场线圈为空心结构，磁场电源连续可调。该装置沉积薄膜的方法包括装样、加热、调节真空度、配气、调节样品台位置和偏压、放电、沉膜、取样等步骤。本发明具有成膜温度低、磁场可调、工艺简单、成本低、沉膜质量高等优点。
