[00037890]球面反射镜的双点源干涉检测方法及装置
联系人： 许恩平
所在地： 广东广州市
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技术详细介绍
本发明涉及一种球面反射镜的双点源干涉检测方法及其装置，所述检测方法包括获取平行光，选出双点源，光束经平面反射返回，光束经球面反射返回，返回光束输出，球面反射镜误差检测的步骤，所述方法使用的装置包括光源、光束处理装置、光栅、凸透镜、透反平面镜、空间滤波器、小平面反射镜、球面反射镜安装调节平台、像屏和摄像机，所述器件安装于器件夹持调节装置上。本发明精度高，对振动、温度、气流敏感小，稳定性高，易于操作并能推广应用。
