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本发明属于碳化硅粉体制备技术领域,公开了一种制备亚微米级碳化硅粉体的方法,包括如下步骤:将原料碳化硅粉体与磨介一起进行干法研磨;研磨后的物料经筛网进行筛分;将筛分得到的物料与分散剂和水混合后,与磨介一起进行湿法研磨,得到碳化硅细粉浆料;将碳化硅细粉浆料依次输送至碱性提纯反应釜内、酸性提纯反应釜内和中和池进行纯化,然后将纯化后的浆料输送至中转储存容器中,加入烘干分散助剂,搅拌均匀后沉淀,沉淀结束后排出上清液,并将得到的沉淀进行压滤得到滤饼;将滤饼装入托盘进行干燥,取出干燥物料经粉碎后得到亚微米级碳化硅粉体。本申请能够克服加工过程中的拐点和逆点,提高生产效率。