[00038614]一种基于加窗傅里叶变换的位移场层析测量装置及方法
技术详细介绍
本发明公开一种基于加窗傅里叶变换的干涉测量装置和方法。其装置为一具有波长空间调制能力的迈克尔逊干涉测量仪，包括了宽带光源(1)、准直透镜(2)、柱面镜(3)、狭缝(4)、准直透镜(5)、分光棱镜(6)、物镜(7)、参考平面(8)、物镜(9)、被测样件(10)、反射式衍射光栅(11)、镜头(12)、CCD相机(13)。再结合加窗傅里叶变换的干涉信号解调方法，通过卷积运算、阈值处理、反傅里叶变换等过程，对编码了位移信息的干涉光谱相位进行数据解调。相比于传统方法，这种方法解调出的位移场结果具有更高的信噪比。
