[00038615]一种光学相干层析变形场降噪方法
技术详细介绍
本发明公开了一种光学相干层析变形场降噪方法，在相位对照谱域光学相干层析技术的基础上结合了模糊逻辑的方法，通过对测量结果提取特征参数，并进行模糊推理和判断，对样件的截面轮廓以及样件内部的变形场进行降噪，使截面轮廓更加清晰，变形场分布更加细致。计算干涉光谱的原始幅值Am(y,z)和原始相位差Δφm(y,z)；根据干涉光谱的原始幅值Am(y,z)和原始相位差Δφm(y,z)计算特征参数C1、C2、C3和C4；对特征参数C1、C2、C3和C4进行模糊化处理得到模糊化特征参数Cn1、Cn2、Cn3和Cn4；对模糊化特征参数进行判断，输出O1和O2；计算降噪后的输出幅值Ae(y,z)和输出相位差Δφe(y,z)；根据输出幅值Ae(y,z)和输出相位差Δφe(y,z)解调出降噪后的变形场。
