[00038627]一种绝对式光栅尺的防振读码装置
技术详细介绍
本发明是一种绝对式光栅尺的防振读码装置。包括有用于采集绝对光栅条纹和校正增量条纹的CMOS/CCD传感器阵列、带微透镜阵列的光学放大系统、用于辅助校正振动方向和测量的带有绝对式编码和校正增量条纹的绝对式光栅尺、FPGA驱动单元、DSP图像处理单元、校正补偿单元。本发明采用的绝对式光栅尺为并列布置的高精度绝对编码和低精度的校正增量码编码的双码道光栅尺，由FPGA同时驱动CMOS/CCD传感器阵列的四个单元来采集图像，并有序地对比图像中的校正增量码来获得有效的振动方向，并通过运动校正补偿单元来补偿运动，使得整体编码图像清晰，有效提高了正确读码率，实现了高精度测量。
