[00038959]一种TiB2/AlTiN复合涂层及其制备方法与应用
技术详细介绍
本发明公开了一种TiB2/AlTiN复合涂层，所述TiB2/AlTiN复合涂层是以TiB2陶瓷靶和AlTi溅射靶为原料，通过多靶磁控溅射在基体上交替溅射沉积形成多层结构的TiB2/AlTiN复合涂层。所述TiB2/AlTiN复合涂层中AlTiN层与TiB2层的总层数为10～100层，调制周期的厚度为0.1～1μm。本发明的制备的TiB2/AlTiN复合涂层表现出了较高的硬度，良好的韧性和抗高温氧化性。本发明的磁控溅射双靶共沉积技术操作方便，无需后处理等工艺，制备周期短，成本低，可复现性好，应用范围广，可实现工业化大生产。
