[00038964]一种多层纳米复合刀具涂层及其制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种多层纳米复合刀具涂层及其制备方法，在刀具基体表面采用物理气相沉积技术先涂覆一层氮化钛过渡层，然后再交替周期性涂镀多层铝钛硅氮化物涂层和铝铬氮涂层；其中氮化钛过渡层的厚度0.1～0.5微米，每层铝钛硅氮化物涂层和铝铬氮化物涂层的厚度各为0.1～0.5微米，重复4～20层生成多层结构的AlTiSiN/AlCrN纳米复合刀具涂层；本发明的涂层晶粒大小在5～15
本发明公开了一种多层纳米复合刀具涂层及其制备方法，在刀具基体表面采用物理气相沉积技术先涂覆一层氮化钛过渡层，然后再交替周期性涂镀多层铝钛硅氮化物涂层和铝铬氮涂层；其中氮化钛过渡层的厚度0.1～0.5微米，每层铝钛硅氮化物涂层和铝铬氮化物涂层的厚度各为0.1～0.5微米，重复4～20层生成多层结构的AlTiSiN/AlCrN纳米复合刀具涂层；本发明的涂层晶粒大小在5～15
