[00038967]一种高温低摩擦CrAlSiON纳米复合涂层及其制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种高温低摩擦CrAlSiON纳米复合涂层，由CrN过渡层和CrAlSiON功能层组成，采用多弧离子镀技术，通过改变工艺参数来获取不同成分的涂层。本发明将氧元素引入至CrAlSiON纳米复合涂层，通过沉积条件的改变来控制氧在涂层中的存在形式，使涂层中预先形成一种或多种摩擦系数低、耐磨损的氧化物，在提高涂层结合力和降低应力的同时，降低了涂层高温条件下的摩擦系数，改善涂层抗摩擦磨损性能和热稳定性能，使得涂层更适用于更苛刻的应用环境。
