[00038969]一种自组装纳米氧氮化物涂层及其制备方法和应用
技术详细介绍
本发明公开一种自组装纳米氧氮化物涂层的制备方法，采用传统PVD技术制备，根据靶材不同距离范围内等离子体能量和密度分布不同的现象，通过调整样品转架自转及公转速度，改变样品在不同等离子体区域停留的时间，从而制备自组装纳米多层氧氮化物涂层。该涂层包括富氧层和富氮层，富氧层和富氮层交替沉积在基体上，涂层成分为Al20～35at.％，Cr10～25at.％，Si0～15at.％，O5～50at.％，N10～50at.％。本发明的制备工艺简单，成本低廉，适应性好，兼顾氮化物以及氧化物涂层的优势，有很大的应用推广潜力。
