[00039875]一种LTPS/IGZO玻璃基板破洞快速检测方法
技术详细介绍
本发明涉及一种LTPS/IGZO玻璃基板破洞快速检测方法，其技术特点主要包括以下步骤：通过大容量高速并行数字图像采集技术采集LTPS/IGZO玻璃基板图像；图像预处理：包括图像的光学畸变处理、系统震动处理、图像动态对位、二值化处理；对采集到的图片进行感兴趣区域分割；图像匹配：通过建立一个标准模板匹配对分割处理之后的图像进行快速的匹配，从而可以判断出采集到的图像和标准图像之间的差值；缺陷判定。本发明能够快速的对大小为1G的大容量LTPS/IGZO玻璃基板图像的破洞缺陷进行快速检测，缺陷检出率高，计算耗时低，对大容量高像素图片处理速度快，性能可靠。
