[00039953]一种基于恒力控制的超声振幅测量装置及方法
技术详细介绍
本发明涉及超声加工中超声振幅的测量，是一种基于恒力控制的超声振幅测量装置及方法。利用精密微三维运动平台Z轴运动与压力传感器结合形成闭环控制系统，在无超声与有超声作用于超声振动系统条件下，通过记录精密微三维运动平台Z轴两次运动的坐标差来实现对超声振幅的测量，对环境噪声干扰要求不高；并且提高精密微三维运动平台的精度和压力传感器采样频率即可提高测量精度，理论上可以精确到纳米级。
本发明涉及超声加工中超声振幅的测量，是一种基于恒力控制的超声振幅测量装置及方法。利用精密微三维运动平台Z轴运动与压力传感器结合形成闭环控制系统，在无超声与有超声作用于超声振动系统条件下，通过记录精密微三维运动平台Z轴两次运动的坐标差来实现对超声振幅的测量，对环境噪声干扰要求不高；并且提高精密微三维运动平台的精度和压力传感器采样频率即可提高测量精度，理论上可以精确到纳米级。
