[00039959]用于绝对式光栅尺的一体化振动控制系统及方法
技术详细介绍
本发明公开了用于绝对式光栅尺的一体化振动控制系统及方法，该系统包括补偿式安装机构和振动补偿控制子系统，所述光栅尺读数头通过补偿式安装机构安装在载体平台上，所述振动补偿控制子系统用于读取载体平台的振动反馈信号以及载体平台所处数控机床的运动学参数后，计算获得相应的振动补偿指令，进而对补偿式安装机构实现振动补偿。本发明可在绝对式光栅尺的测量过程中实现对光栅尺读数头的振动补偿，提高绝对式光栅尺的测量精度，可应用在精密光学测量系统的控制领域中。
