[00039960]一种绝对光栅尺的多轨道编码方法
技术详细介绍
本发明是一种绝对光栅尺的多轨道编码方法。为了解决微纳加工测量中，增量编码的累积误差和绝对编码的硬件复杂等问题，本发明使用一种基于单、多轨道适用的p元M序列伪随机码的绝对编码方式，本编码方式适用于直线绝对位置编码器、圆盘绝对角度编码器，可以在任何时候定位，不需要开机返零。并且带增量编码条，可以使用相位细分法提高测量精度。本编码是一种易于生成、复制和加工、编码容量大、解码成本低、宏微复合的绝对位置编码方法。本编码包括普通单轨二元M序列绝对光栅尺直线编码、M序列圆盘编码器、扩码方式多码道伪随机码直线编码、扩码方式p元M序列伪随机码，结合上述编码得到的最大编码方式。
