[00039962]一种绝对光栅尺测试平台及其测试方法
技术详细介绍
本发明是一种绝对光栅尺测试平台。包括用于采集光栅条纹的COMS传感器、光学聚焦镜、COMS目镜、平行光源、光栅尺支架、双光栅条光栅尺、光栅尺支架、移动平台、直线滑轨、直线推进装置、步进电机、基座，其中步进电机、直线推进装置、直线滑轨组成直线运动系统，COMS传感器、光学聚焦镜、COMS目镜、平行光源和双光栅条光栅尺组成图像处理的采样系统。本发明提高了编码测量的精度和可靠性，可以实现精确定位。本发明的绝对光栅尺测试平台高精度、高控制性、高可靠性。本发明的测试方法提供了一种双编码条加光学放大的编码方法，且通过合理可靠的图像分析，加以闭环控制，使得光栅尺移动性、可靠性、精确性大幅度提升。
