[00039970]激光干涉仪的准直偏差检测及消除方法
技术详细介绍
本发明公开了激光干涉仪的准直偏差检测方法及消除方法，该检测方法包括：将图像采集模块固定在置于激光干涉仪正前方的运动平台上使得激光干涉仪的激光光束照射到图像采集模块上后，移动运动平台使得其距离激光干涉仪的距离为第一距离，获取激光光束照射到图像采集模块上的第一光斑图像，然后计算出第一光斑图像上的激光点的坐标，继续往同一方向移动运动平台使其继续移动第二距离后，获取激光光束照射到图像采集模块上的第二光斑图像，然后计算出第二光斑图像上的激光点的坐标，最后计算出激光干涉仪的准直偏差。本发明操作简单、快速且测量精度高，可广泛应用于激光测量技术领域中。
