[00039975]微纳级电磁栅尺及其制造装置及位移检测系统
技术详细介绍
本实用新型是一种微纳级电磁栅尺及其制造装置及位移检测系统。本实用新型的微纳级电磁栅尺是基于电感效应的微纳级电磁栅尺，通过电磁传感器利用电磁感应原理将被测非电量（如位移、压力、流量、振动等）转换成线圈自感系数L或互感系数M的变化，再经过测量电路转换为相应电压或电流的变化量输出，从而实现非电量到电量的转换和测量。本实用新型微纳级电磁栅尺制造方法是基于近场电纺直写技术，设计加工简单易操作，便于大规模制造，得到的栅线平行度好，且刻线均匀。本实用新型微纳级电磁栅尺的制造装置，是近场电纺直写设备，具有良好的自动控制性能。本实用新型的位移检测系统，利用钨针作为探头，用脉冲技术进行计数，计数准确，检测精度高。
