[00039976]一种电磁栅尺结构及其位移信息读取方法
技术详细介绍
本发明是一种电磁栅尺栅线结构及其读取方法，包括电磁栅尺尺身、导电栅线、感应栅线、感应探针，导电栅线和感应栅线均刻在电磁栅尺尺身上，且两条导电栅线互相平行设置，若干感应栅线互相平行设置在两条导电栅线之间，感应栅线的两端连接两条平行的导线栅线，直流电源的正负极分别通过导线连接两条平行的导电栅线，为两条平行的导电栅线和感应栅线提供电源构成回路，感应探针装设在感应栅线的上方，且感应探针沿平行于导电栅线的方向上运动，电势检测电路分别与感应探针及电势参考点相连，微电势检测电路还与采集控制系统相连。本发明可靠性高，测量精度高，能检测纳米级别的位移，能读取小于光波波长栅距，能测量高速运动的物体位移、方向及其速度。
