[00039977]微纳级电磁栅尺及其制造装置及制造方法及位移检测系统
技术详细介绍
本发明是一种微纳级电磁栅尺及其制造装置及制造方法及位移检测系统。本发明的微纳级电磁栅尺是基于电感效应的微纳级电磁栅尺，通过电磁传感器利用电磁感应原理将被测非电量（如位移、压力、流量、振动等）转换成线圈自感系数L或互感系数M的变化，再经过测量电路转换为相应电压或电流的变化量输出，从而实现非电量到电量的转换和测量。本发明微纳级电磁栅尺制造方法是基于近场电纺直写技术，设计加工简单易操作，便于大规模制造，得到的栅线平行度好，且刻线均匀。本发明微纳级电磁栅尺的制造装置，是近场电纺直写设备，具有良好的自动控制性能。本发明的位移检测系统，利用钨针作为探头，用脉冲技术进行计数，计数准确，检测精度高。
