[00004047]一种基于准二维光栅的混合模式激光器、阵列及制作方法
交易价格:
面议
所属行业:
光学仪器
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201610082345.5
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
许尔杰
进入空间
所在地:
江苏南京市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本申请公开了一种基于准二维光栅的混合模式激光器、阵列及制作方法。该方法包括:制作用于构成激光器混合模式谐振腔的光栅;其中所述光栅用于实现激光器谐振腔中相同波长的激光以两种以上的模式共同发射;所述光栅包含相移结构;通过后续工艺,制备激光器;所述后续工艺包括刻蚀工艺和沉积金属工艺。本发明解决了现有技术中的模分复用光子集成芯片的光源光耦合损耗大的问题。