[00004400]基于多尺度角点特征提取的晶片缺陷检测方法

交易价格： 面议

所属行业： 检测仪器

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201310186579.0

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：许尔杰

所在地：江苏南京市

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技术详细介绍

本发明公开了基于多尺度角点特征提取的晶片缺陷检测方法，属于晶片缺陷检测的技术领域。本发明通过寻找各层尺度空间中相同图像区域内响应最大的角点作为神经网络的训练特征向量，进而判定晶片缺陷，避免了对环境光线变化敏感的问题，实现了对晶片缺陷的有效分类，具有高稳定性、高检测效率、低敏感度的有益效果。