[00004967]多方向的压电超声发生器及其制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种多方向的压电超声发生器及其制备方法，是一种结构简单，操作容易，方向性可调，且便于集成的超声发生器及其制备方法。该超声发生器以硅为衬底，在衬底上设有三角形桥墩、三个独立的MEMS悬臂梁、压电材料、MEMS悬臂梁下拉电极。本发明既可以对三个MEMS悬臂梁下拉电极同时施加相同大小的电压，也可以通过选择不同组合方式对MEMS悬臂梁下拉电极单独的施加电压，共有七种组合方式来实现压电超声发生器的方向性选择。
