[00040214]一种宏微复合运动的动态切换方法
技术详细介绍
本发明公开了本发明提出的一种宏微复合运动的动态切换方法。即在宏平台接近终点进行减速的过程，即提前启动微平台，通过微平台实现精密定位，同时宏、微平台也达到稳定。该方法将根据宏、微平台的结构及动态特性，确定切换的振幅阈值，并确定相应的切换时刻，当宏平台减速过程中达到切换条件时，则进行运动的切换，启动微平台的运动，通过绝对光栅实现微平台的闭环控制，最终达到平台的定位精度要求。
本发明公开了本发明提出的一种宏微复合运动的动态切换方法。即在宏平台接近终点进行减速的过程，即提前启动微平台，通过微平台实现精密定位，同时宏、微平台也达到稳定。该方法将根据宏、微平台的结构及动态特性，确定切换的振幅阈值，并确定相应的切换时刻，当宏平台减速过程中达到切换条件时，则进行运动的切换，启动微平台的运动，通过绝对光栅实现微平台的闭环控制，最终达到平台的定位精度要求。
