[00040639]一种纹理扫描机
技术详细介绍
本发明公开了一种纹理扫描机，利用光谱共焦位移传感器探头扫描被测样品，可以采集到被测样品的高度数据和反射光强数据，光谱共焦位移传感器与光谱共焦位移传感器探头连接，可以获取到所述被测样品的高度图像和反射光强图像，在纹理扫描机中包括有彩色线阵相机，可以通过扫描被测样品，获取被测样品的彩色图像，可见，通过一次扫描流程，可以同时获取到被测样品的高度图像和彩色图像，提高了测量的效率。考虑到高度图像和彩色图像可能会存在不匹配的问题，因此，可以利用计算机对反射光强图像和彩色图像的灰度信息进行相关性计算，实现高度图像与彩色图像的匹配。
