[00040802]一种高频微位移驱动装置及控制方法
技术详细介绍
本发明公开了一种高频微位移驱动装置，属于微位移驱动器领域，包括壳体、设于所述壳体内部的音圈电机，所述音圈电机包括定子、沿所述定子的轴向方向运动的动子，所述定子与动子之间设有位移传感器，所述壳体的两侧设有与所述壳体固定连接的薄膜压盖，所述定子包括磁轭、固定于所述磁轭上的磁铁，所述动子包括中心轴、与所述中心轴固定连接的线圈支架、以及缠绕于所述线圈支架上的线圈，所述薄膜压盖的中部设有安装孔，所述中心轴穿过所述安装孔后通过止动螺母与限位轴肩紧固连接。本发明输出位移的精度高，线性及高频特性好，且结构紧凑，密封性好，集成度高，适用于小体积微动平台。
