[00040927]一种倒装结构的三族氮化物微纳发光器件及其制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种倒装结构的三族氮化物微纳发光器件，包括发光器件本体，所述发光器件本体自上而下依次有第一n型三族氮化物层(1)、图形化掩膜层(2)、第二n型三族氮化物层(3)、三族氮化物有源层(4)、p型三族氮化物层(5)、反光导电层(6)、p型电极(7)，所述第一n型三族氮化物层(1)上设有n型电极(8)；所述第二n型三族氮化物层(3)为六角金字塔结构或六角截顶金字塔结构；所述图形化掩膜层(2)的图形为周期性多边形或圆孔，尺寸为1μm～20μm，阵列周期为50μm～200μm；本发明还公开了一种倒装结构的三族氮化物微纳发光器件的制备方法，本微纳发光器件具有尺寸可控、晶体质量高、性能稳定、发光效率高的特点。
