[00040949]一种晶圆料盒定位装置
技术详细介绍
本发明公开一种晶圆料盒定位装置，定位底座用于承托载料盒，板面上的按载料盒的尺寸、在不同位置贯通设置连接孔；限位块通过连接孔可拆卸固定于定位底座的上表面，载料盒的每个边缘至少对应设置一个限位块，通过改变限位块的固定位置，可以与不同尺寸的载料盒相互匹配，从而使限位块能够紧紧地与载料盒的边缘紧贴固定，通过多个限位块的相互配合将载料盒卡接定位。因本发明中的限位块的位置可改变，并且定位底座上的连接孔根据载料盒的尺寸相应设定，从而使限位块的相对间距可以与不同的载料盒相匹配，因而能够对应匹配不同规格尺寸的载料盒，仅需一个定位装置即可定位多种载料盒，不需要更换载料盒，节省了更换的时间，提高生产效率。
