[00040952]一种静电吸附拾取夹具系统
技术详细介绍
本实用新型公开一种静电吸附拾取夹具系统，包括可对微薄片进行筛选的筛选平台、可对筛选平台上的微薄片进行静电吸附并转移的静电吸附夹具、可对被静电吸附的微薄片去除静电的去静电平台。具体地，筛选平台包括可承载微薄片的负极板载物台，以及位于负极板载物台下方并带有正电荷的筛选正极板；静电吸附夹具设有带有正电荷的夹具正极板，去静电平台包括静电载物台以及位于下方的电容极板。相对于现有技术，本实用新型能够有效解决纳米级成品进行准确搬移的技术问题，能够有效筛选成品、有效吸附成品以及缓降定位等优点，能够提高生产效率以及保证成品完整性。
