[00043316]一种周期性碗状结构模板
技术详细介绍
本实用新型公开一种周期性碗状结构模板，包括基底1和位于基底1上方的二氧化硅2，二氧化硅2上部形成多个碗状的金属孔3，且这些金属孔3在二氧化硅2上部呈周期性排布。上述金属孔3呈十字排布、六方排布及其他周期性排布，其周期范围为10纳米～10微米。本实用新型制备的周期性碗状模板面积大，结构均匀完整，在制备图形衬底、光子晶体、表面粗化、表面制绒和微纳米器件等方面有很好的应用前景，能广泛应用于LED、太阳能电池、光子晶体、量子器件等方面，或作为基底材料的刻蚀掩膜层，用于其它微纳米结构的制造。
