[00044595]超大景深三维测量显微镜
联系人： 王东坡
所在地： 安徽合肥市
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技术详细介绍
鉴于光学显微镜景深有限，不能测量和三维实时显示高度差超过光学景深的复杂三维结构物体，如微机电器件（MEMS）、生物组织结构等。本成果基于利用光学变焦原理，通过移动显微物镜的焦点位置，拍摄由模糊到清晰再到模糊的二维图像序列，通过聚焦评价和图像处理合成技术，扩展显微镜的景深，得到超大景深的三维立体图像，实现超大景深三维彩色实时显示和大深宽比微纳结构三维形貌的测量，主要技术指标如下： （1）最大测量景深可达：23mm, （2）三维测量分辨率：100nm （3）物镜光学倍率可调：0.5x-100x 三维真彩色显示、三维数据建模与可视化
