联系人: 哈尔滨工业大学
所在地: 黑龙江哈尔滨市
摘要:一种硅基陶瓷表面金属化方法,涉及一种陶瓷表面金属化方法。本发明要解决现有技术中硅基陶瓷表面金属化方法复杂,硅基陶瓷表面与合金钎料的相容性差、硅基陶瓷与合金钎料连接界面残余应力高、合金钎料对硅基陶瓷的润湿性差、连接构件与硅基陶瓷连接强度和可靠性低的问题。本发明方法:步骤一:制备Ti-Si合金钎料;步骤二:制备Ti-Si合金钎料薄片;步骤三:硅基陶瓷去氧化层处理;步骤四:硅基陶瓷表面金属化。本发明方法提高硅基陶瓷与合金钎料的相容性,有效的缓解硅基陶瓷接头应力,提高接头强度及可靠性,提高了合金钎料对硅基陶瓷的润湿性,工艺简单,可重复性高,适用范围广。本发明用于硅基陶瓷表面金属化。