[00045986]气体润滑与摩擦阻尼复合式高刚度高稳定性二维调整工作台
联系人： 哈尔滨工业大学
所在地： 黑龙江哈尔滨市
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技术详细介绍
摘要：气体润滑与摩擦阻尼复合式高刚度高稳定性二维调整工作台属于精密仪器及机械技术领域；X向气浮滑板配置于底座与Y向气浮滑板之间，X向气浮滑板上的气浮工作面x5与Y向气浮滑板上的气浮工作面y3之间形成支承气膜，支承Y向气浮滑板；底座上的气浮工作面z与X向气浮滑板上的气浮工作面x3和气浮工作面x4之间形成支承气膜，支承X向气浮滑板；在底座的气浮工作面z上固装有相互平行的导轨A和B，在X向气浮滑板上固装有相互平行的导轨C和D；摩擦阻尼单元E1与导轨A和导轨B接触配合，摩擦阻尼单元E2与导轨C和导轨D接触配合；本发明建立了一种兼顾高刚度和高定位稳定性的精密平面二维调整装置。
