[00046128]电涡流传感器直线度补偿的电感传感器校准方法与装置
联系人： 哈尔滨工业大学
所在地： 黑龙江哈尔滨市
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技术详细介绍
摘要：电涡流传感器直线度补偿的电感传感器校准方法与装置属于精密测量技术领域。其校准方法与装置以双频激光干涉仪作为运动基准，直流电机与滚珠丝杠作为宏动驱动元件，滚珠导轨作为宏动导向元件，直线光栅尺作为宏动反馈元件进行宏动粗定位；采用音圈电机作为微动驱动元件，气浮导轨作为微动导向元件，双频激光干涉仪与直线光栅尺作为微动反馈元件进行微动精定位，补偿宏动定位误差。利用四个电涡流传感器补偿宏微定位平台运动的俯仰与偏航误差；本发明可以有效解决位移传感器校准装置行程与精度之间的矛盾，实现大行程、高精度电感位移传感器的动静态校准。
